我們的(de)(de)全自動(dong)(dong)(dong)(dong)化和半自動(dong)(dong)(dong)(dong)化測試臺可測試體積水表過(guo)程自動(dong)(dong)(dong)(dong)化可以(yi)幫助我們的(de)(de)客戶(hu)增加(jia)速度(du)，效率和準確性，同(tong)時減(jian)少(shao)運營成本。設計和制造(zao)以(yi)支持濕法工藝(yi)和晶圓(yuan)載體尺寸。自動(dong)(dong)(dong)(dong)化臺架工作(zuo)站可以(yi)是手動(dong)(dong)(dong)(dong)，自動(dong)(dong)(dong)(dong)或半自動(dong)(dong)(dong)(dong)的(de)(de)，并且易于維護且占地面積小。

自動濕臺設(she)計(ji)用(yong)于(yu)蝕刻(ke)和清(qing)潔晶圓單元。

機器人根據(ju)預定配方(fang)在不同化學(xue)浴之間移(yi)動裝有威化餅的盒。

自(zi)動濕臺中(zhong)的(de)每個浴(yu)池都通過(guo)HMI觸(chu)摸(mo)屏(ping)進(jin)行操作(zuo)和(he)控(kong)制，該觸(chu)摸(mo)屏(ping)顯示(shi)其狀態，并可以選擇(ze)和(he)設(she)置操作(zuo)所需(xu)的(de)很(hen)多需(xu)要的(de)參數。

提供檢修門和面板(ban)，以(yi)方(fang)便在濕工作臺周(zhou)圍進行維修任務(wu)。

自(zi)動濕臺是一個完整的自(zi)包含系統，具(ju)有普(pu)遍的牢靠性以(yi)及良好的故(gu)障(zhang)分(fen)析和處(chu)理功能

自動濕臺設計(ji)用于(yu)通過在不(bu)同的化學浴中進(jin)行浸泡(pao)來(lai)對微妙的進(jin)行化學處理(li)。

放置在夾具(ju)中(zhong)，該夾具(ju)又(you)裝(zhuang)在輸送箱(xiang)中(zhong)。

機器人根據預定的(de)化(hua)(hua)學配(pei)方在(zai)不同(tong)化(hua)(hua)學浴之間(jian)移(yi)動夾(jia)具和零件(jian)。

自動濕臺中(zhong)的每個浴池都(dou)通過(guo)HMI觸摸屏進行(xing)操作和控(kong)制(zhi)，該(gai)觸摸屏顯示其狀(zhuang)態，并可以選(xuan)擇和設置操作所需(xu)的很(hen)多的參數。

提供檢修門和面板，以方(fang)便在(zai)設(she)備(bei)的正面和側(ce)面進行維(wei)修。

自動濕臺是一個完(wan)整的(de)系(xi)統，具有普遍的(de)牢靠性以及故障分析(xi)和處理功(gong)能。